把有機廢氣加熱升溫至760 ~ 800°C左右，使廢氣中的VOC氧化分解，成為無害 的C02和H20,氧化時的高溫氣體的熱量被蓄熱體“貯存”起來，用于預熱新進入的 有機廢氣，從而節省升溫所需要的燃料消耗，降低運行成本。
待處理有機廢氣經引風機進入蓄熱室1的陶瓷介質層（該陶瓷介質“貯存” 了上一 循環的熱量），陶瓷釋放熱量，溫度降低，而有機廢氣吸收熱量，溫度升高，廢氣離開 蓄熱室后以較高的溫度進入氧化室，此時廢氣溫度的高低取決于陶瓷體體積、廢氣流速 和陶瓷體的幾何結構。
在氧化室中，有機廢氣再由燃燒器補燃，加熱升溫至設定的氧化溫度，使其中的有 機物被分解成二氧化碳和水，由于廢氣已在蓄熱室內預熱，燃燒器的燃料用量大為減少。

廢氣流經蓄熱室1升溫后進入氧化室焚燒，成為凈化的高溫氣體后離開氧化室，進 入蓄熱室2 （在前面的循環中已被冷卻），釋放熱量，降溫后排出，而蓄熱室2吸收大 量熱量后升溫（用于下一個循環加熱廢氣）。處理后氣體離開蓄熱室2,經引風機排入大氣o 一般情況下排氣溫度比進氣溫度高約30 ~ 50°C左右。